웨이퍼 제조

KLA의 웨이퍼 제조 포트폴리오에는 결함 검사 및 리뷰, 계측, 데이터 관리, 공정 진행 중 모니터링 시스템이 포함되어 있으며, 이를 통해 제조업체는 웨이퍼 제조 공정 전반에서 품질을 관리할 수 있습니다. KLA의 웨이퍼 제조 시스템은 실리콘, 프라임 실리콘, SOI, 사파이어, 유리, GaAs, SiC, GaN, InP, GaSb, Ge, LiTaO₃, LiNBO₃, 에피택셜 웨이퍼를 포함하여 광범위한 기판 유형 및 크기에 대한 공정 개발, 생산 모니터링 및 최종 품질 검사를 지원합니다. 웨이퍼 제조업체는 KLA의 다양한 제품을 사용하여 개발 및 제품 증산 주기를 가속화하고, 웨이퍼 품질을 높이며, 웨이퍼 제조 공정에서 전반적인 생산성을 개선합니다.